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功率馈通,主要用于把高电压、高电流,或者两种同时传到真空腔体内。标准产品 电压最高位100KV,电流最高位1000A。
功率馈通用于多种应用,如半导体加工设备、粒子加速器、熔炉、分析设备、真空 镀膜、卫星仪器、X射线检测设备,包括真空炉、样品加热、加偏压,以及电子束蒸发、 电阻加热蒸发和直流等离子体溅射等真空镀膜应用。
馈通兼容在CF、KF、ISO等多种法兰上,以满足不同的真空度及应用场景。