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功率馈通概述
功率馈通主要用于将高电压、大电流或两者同时引入真空腔体内。标准产品的最高电压可达100 kV，最大电流可达1000 A。
功率馈通广泛应用于各类场景，包括半导体加工设备、粒子加速器、加热炉、分析仪器、真空镀膜系统、卫星仪器以及X射线检测设备。典型应用涵盖真空加热炉、样品加热、偏压施加，以及电子束蒸发、电阻热蒸发和直流等离子体溅射等真空镀膜工艺。
这些馈通产品兼容CF、KF和ISO法兰，可满足不同的真空等级和应用需求。
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