热偶馈通

热偶是依据Seebeck效应设计的，它由两种不同金属或合金材料构成，当它们的两 个接点处于不同温度时，会在电路中产生一个电压信号（热电动势），这个电压与温差 成一定关系，可以用来测量温度。热偶馈通的作用是在穿过真空腔壁、加压容器或屏蔽 体时，确保信号不会因材料不匹配而失真，同时维持内部环境的密封状态。

热偶馈通的应用场景包含真空炉温度监测半导体制造设备真空腔体中的温度测试（如离子束、等离子系统）；核能、航天、科研设备中温度反馈系统高压或腐蚀性环境 中进行热电偶信号传输等。

最常用的热电偶为K型和C型，其他类型的热偶还包含R、S、T型等。

热偶馈通可以和功率馈通结合使用，协同实现对系统的控制、供能和温度监测。

通过对CTS型馈通进行改进，可在相对较小空间内通过多对热偶信号。